太陽能晶片背面沈積瑕疵檢查系統
一、產品介紹: 太陽能晶片於PECVD製程中,可能因裂痕或破片而導致背面也沉積到薄膜,必須先行以人工目視挑出,不但耗費人力成本,亦減損生產效率。 本系統以全自動檢查設備,導入於晶片開始印刷前進行inline檢查,不但能節省人力,亦能增進生產效率。 二、系統特點: 可檢查太陽能晶片於沈積過程可能產生的背面沈積瑕疵 可導入於太陽能晶片印刷設備,在不影響印刷製程的前提下,進行全自動檢查 簡易且人性化的操作界面,搭配各國語言的切換,可縮短產線人員於機台操作的學習曲線 三、規格及功能: 太陽能晶片規格:單、多晶均適用 瑕疵種類:晶片背面沈積 ※詳細規格請洽本公司業務人員