EEVision Website -- 晶圓位移檢測系統
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<table border="0" cellspacing="0" cellpadding="0" width="100%">
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<td width="111"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=10"><img id="mec01" border="0" name="mec01" alt="" width="111" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec01','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c1.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c1.jpg" /></a></td>
<td width="75"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=11"><img id="mec02" border="0" name="mec02" alt="" width="75" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec02','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c2.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c2.jpg" /></a></td>
<td width="73"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=12"><img id="mec03" border="0" name="mec03" alt="" width="73" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec03','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c3.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c3.jpg" /></a></td>
<td width="78"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=13"><img id="mec04" border="0" name="mec04" alt="" width="78" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec04','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c4.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c4.jpg" /></a></td>
<td width="73"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=14"><img id="mec05" border="0" name="mec05" alt="" width="73" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec05','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c5.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c5.jpg" /></a></td>
<td background="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c6.jpg"><img alt="" width="24" height="40" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c6.jpg" /></td>
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晶圓位移檢測系統

EVWDI : 晶圓位移檢測系統
功能:
 本系統功能為檢測在晶圓升降裝置中,晶圓是否未正確放置於晶圓承載板上,而產生位移。當晶圓置放位置不正確時,若晶圓升降裝置啟動的話,會造成晶圓的破損,不但需要花費人力時間進行清除,並且會造成產能的下降。
本系統在晶圓升降裝置啟動時,進行晶圓置放位置之偵測,當偵測異常狀況時,會立即停止晶圓升降裝置,並且發出警告通知相關人員處理,不僅能免除晶圓破損造成的清理工夫,並能有效增加系統穩定性,以確保產能效率。
特點:
能正確判斷晶圓是否位於異常位置,且當檢測晶圓處於異常位置時,會立即通知並停止升降裝置之運作,以避免晶圓之損壞。
本系統之硬體設備,不影響機台之維修動線,亦不遮蔽升降裝置之觀景窗,且復歸容易。
操作簡易,可中英文切換。
可記錄晶圓偵測影像檔,以利後續追蹤處理。
可將檢測結果記錄於資料庫中,以供統計。
規格:
機台規格:Precision P5000機型,八片裝及十五片裝晶圓升降裝置。
晶圓尺寸:八吋。
檢測範圍:晶圓未正確置放於升降裝置中。
檢測時間:本系統於升降裝置啟動時,進行一次晶圓位置之檢查,檢測時間為300ms。

 
 
 
 
 
 
2014.01.01

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