檢查晶圓在沈積前後相對於機械手臂是否有位移差(以及是否已產生破片:選購項目)。晶圓傳輸過程中,若晶圓位置擺放不正確,會造成沈積不均、甚至破裂,所以晶圓在進入沈積程序前,須先判斷其位置是否偏移,若有偏移則發出警告訊號,使得機台能在晶圓被機械手臂移動之前作出適當的處理。如此可避免晶圓沈積不勻、甚至造成損壞,可節省機台因晶圓破損所花費的清理人力和時間,並有效提高產能。
在進行整批沈積作業前,可計算位於cassette內晶圓之數量,以及晶圓擺放位置是否正確位於置放槽內,以免機械手臂取出晶圓時造成晶圓毀損。