EEVision Website -- 晶圓滑片偵測系統
正在加載......
X
 
會員帳號 :
會員密碼 :
忘記密碼    加入會員
<table border="0" cellspacing="0" cellpadding="0" width="100%">
<tbody>
<tr>
<td width="111"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=10"><img id="mec01" border="0" name="mec01" alt="" width="111" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec01','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c1.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c1.jpg" /></a></td>
<td width="75"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=11"><img id="mec02" border="0" name="mec02" alt="" width="75" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec02','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c2.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c2.jpg" /></a></td>
<td width="73"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=12"><img id="mec03" border="0" name="mec03" alt="" width="73" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec03','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c3.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c3.jpg" /></a></td>
<td width="78"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=13"><img id="mec04" border="0" name="mec04" alt="" width="78" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec04','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c4.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c4.jpg" /></a></td>
<td width="73"><a href="/front/bin/ptlist.phtml?Category=14"><img id="mec05" border="0" name="mec05" alt="" width="73" height="40" onmouseover="MM_swapImage('mec05','','/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuc_r1_c5.jpg',1)" onmouseout="MM_swapImgRestore()" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c5.jpg" /></a></td>
<td background="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c6.jpg"><img alt="" width="24" height="40" src="/ezcatfiles/sdt155/img/img/2424/menuca_r1_c6.jpg" /></td>
</tr>
</tbody>
</table>
<div>
<p> </p>
</div>
晶圓滑片偵測系統

EVWS : 晶圓滑片偵測系統
功能
檢查晶圓在沈積前後相對於機械手臂是否有位移差(以及是否已產生破片:選購項目)。晶圓傳輸過程中,若晶圓位置擺放不正確,會造成沈積不均、甚至破裂,所以晶圓在進入沈積程序前,須先判斷其位置是否偏移,若有偏移則發出警告訊號,使得機台能在晶圓被機械手臂移動之前作出適當的處理。如此可避免晶圓沈積不勻、甚至造成損壞,可節省機台因晶圓破損所花費的清理人力和時間,並有效提高產能。
在進行整批沈積作業前,可計算位於cassette內晶圓之數量,以及晶圓擺放位置是否正確位於置放槽內,以免機械手臂取出晶圓時造成晶圓毀損。
特色
可辨識晶圓定位。
可檢測晶圓在沈積前後是否與機器手臂產生位移差。
如遇滑片狀態會立即發出警告訊號,通知機台人員處理。
可在進行沈積前計算cassette中晶圓之數量、以及是否放置正確。

可依客戶需求,訂製特殊光源
規格
規格尺寸:八吋晶圓(特殊規格請與本公司洽詢) 。
檢測週期:
1.滑片:一次檢查一片,配合鍍膜設備之週期
2. 晶圓數量及擺放位置:1 Sec/Cassette
 
 
 
 
 
2014.01.01

友善列印

gotop