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晶圓斜片偵測系統
檢查晶圓在鍍膜前後是否有保持水平......
晶圓位移檢測系統
本系統功能為檢測在晶圓升降裝置中,晶圓是否未正確放置於晶圓承載板上,而產生位移。
晶圓滑片偵測系統
檢查晶圓在沈積前後相對於機械手臂是否有位移差......
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