素玻璃基板检测系统 检测项目
圆洞/弧度半径尺寸量测精度 30 um(尺寸量测资料点个数>100)
直线尺寸量测精度 30 um(尺寸量测资料点个数>100)
外型尺寸量测精度 40 um
边缘区域内缩或凸出 40 um,宽度> 40um检出,弧线区域则依导角变化而定,基本上检出缺陷>70um
边缘导角/圆洞导角变化 40 um检出,但导角本身尺寸不可再有可容忍的尺寸变化
脏污/刮伤检测出尺寸 30 um x 30 um