EEVision Website -- 素玻璃基板检测系统
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素玻璃基板检测系统

素玻璃基板检测系统
检测项目

圆洞/弧度半径尺寸量测精度 30 um(尺寸量测资料点个数>100)

直线尺寸量测精度 30 um(尺寸量测资料点个数>100)

外型尺寸量测精度 40 um

边缘区域内缩或凸出 40 um,宽度> 40um检出,弧线区域则依导角变化而定,基本上检出缺陷>70um

边缘导角/圆洞导角变化 40 um检出,但导角本身尺寸不可再有可容忍的尺寸变化

脏污/刮伤检测出尺寸 30 um x 30 um

2014.01.01

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