檢測項目：

檢測物料尺寸：Maximum 300 x 200 mm， Minimum 60 x 40mm T< 2 mm

防爆膜厚度：50 um 防爆膜

景深範圍：8 mm

量測單位：20 um / Pixel

檢測範圍：40 mm x 30 mm

量測規格：防爆膜位置相對於基板位置量測誤差：< 30 um

檢測區機構尺寸：

長200 mm x 寛 350 mm x 高 400 mm （置中型）

長400 mm x 寛 150 mm x 高 400 mm （對邊型）