检测项目：

检测物料尺寸：Maximum 300 x 200 mm， Minimum 60 x 40mm T< 2 mm

防爆膜厚度：50 um 防爆膜

景深范围：8 mm

量测单位：20 um / Pixel

检测范围：40 mm x 30 mm

量测规格：防爆膜位置相对于基板位置量测误差：< 30 um

检测区机构尺寸：

长200 mm x 寛 350 mm x 高 400 mm （置中型）

长400 mm x 寛 150 mm x 高 400 mm （对边型）