功能：

　本系統功能為檢測在晶圓升降裝置中，晶圓是否未正確放置於晶圓承載板上，而產生位移。當晶圓置放位置不正確時，若晶圓升降裝置啟動的話，會造成晶圓的破損，不但需要花費人力時間進行清除，並且會造成產能的下降。

本系統在晶圓升降裝置啟動時，進行晶圓置放位置之偵測，當偵測異常狀況時，會立即停止晶圓升降裝置，並且發出警告通知相關人員處理，不僅能免除晶圓破損造成的清理工夫，並能有效增加系統穩定性，以確保產能效率。

特點：

能正確判斷晶圓是否位於異常位置，且當檢測晶圓處於異常位置時，會立即通知並停止升降裝置之運作，以避免晶圓之損壞。

本系統之硬體設備，不影響機台之維修動線，亦不遮蔽升降裝置之觀景窗，且復歸容易。

操作簡易，可中英文切換。

可記錄晶圓偵測影像檔，以利後續追蹤處理。

可將檢測結果記錄於資料庫中，以供統計。

規格：

機台規格：Precision P5000機型，八片裝及十五片裝晶圓升降裝置。

晶圓尺寸：八吋。

檢測範圍：晶圓未正確置放於升降裝置中。

檢測時間：本系統於升降裝置啟動時，進行一次晶圓位置之檢查，檢測時間為300ms。