功能：

　本系统功能为检测在晶圆升降装置中，晶圆是否未正确放置于晶圆承载板上，而产生位移。当晶圆置放位置不正确时，若晶圆升降装置启动的话，会造成晶圆的破损，不但需要花费人力时间进行清除，并且会造成产能的下降。

本系统在晶圆升降装置启动时，进行晶圆置放位置之侦测，当侦测异常状况时，会立即停止晶圆升降装置，并且发出警告通知相关人员处理，不仅能免除晶圆破损造成的清理工夫，并能有效增加系统稳定性，以确保产能效率。

特点：

能正确判断晶圆是否位于异常位置，且当检测晶圆处于异常位置时，会立即通知并停止升降装置之运作，以避免晶圆之损坏。

本系统之硬设备，不影响机台之维修动线，亦不遮蔽升降装置之观景窗，且复归容易。

操作简易，可中英文切换。

可记录晶圆侦测影像文件，以利后续追踪处理。

可将检测结果记录于数据库中，以供统计。

规格：

机台规格：Precision P5000机型，八片装及十五片装晶圆升降装置。

晶圆尺寸：八吋。

检测范围：晶圆未正确置放于升降装置中。

检测时间：本系统于升降装置启动时，进行一次晶圆位置之检查，检测时间为300ms。